设备参数: 1、基材尺寸：兼容 200*200 毫米和 100*100 毫米基材； 2、真空度：真空值最大范围在 0.1Pa到大气压； 3、真空时间：根据膜材的厚度和基材的类型，真空时间通常为8到 20秒。
设备尺寸：
1、210mm*210mm;
2、300mm*400mm;
3、600mm*600mm；
4、1200mm*600mm.
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